Beschreibung:
Aufgaben: Entwicklung, Analyse und Optimierung feinmechanischer und optischer Systeme für hochpräzise Messaufgaben in der DUV -Photomasken Metrologie Erarbeitung und Bewertung von Error Budgets Entwicklung von System - und Baugruppenkonzepten Simulation der Einflüsse auf die Messgenauigkeit un
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